记者许家祯／台北报道
汉微科今日股东会通过全球晶片微影系统领导厂商荷商艾司摩尔提出之股份转换案。汉微科表示，该案预估将于今年第4季度完成，届时汉微科将下市，强调交易不仅将使两间公司进一步整合，更能丰富产品组合、加速产品开发速度。
汉微科表示，今年ASML 6月16日宣布收购汉微科全部流通在外股份，今日股东会通过，股份转换案仍应符合包括台湾、美国及其他国家主管机关的核准，预计将于2016年第4季度完成。ASML将以现金收购汉微科全部流通在外股份，总交易金额约为新台币1000亿元。
汉微科是世界各大晶圆代工厂与晶圆记忆体厂最大的电子束检测设备供应商，多年来专注于高解析度及电压反差成像电子束产品及应用之开发，于电子束应用领域居于领先之位。汉微科未来不仅将继续突破创新技术，其核心技术也将增强ASML的全方位微影技术解决方案。由于电子束晶圆检测技术可以侦测到最先进半导体晶片之晶圆缺陷，因此所生产之电子束晶圆缺陷检测机台在10纳米以下制程将可发挥最大效用。
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